Nitrogena Trifluorido (NF3) Alta Pura Gaso
Bazaj Informoj
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Kio estas ĉi tiu materialo?
Nitrogentrifluorido (NF3) estas senkolora kaj senodora gaso ĉe ĉambra temperaturo kaj atmosfera premo. Ĝi povas esti likvigita sub modera premo. NF3 estas stabila sub normalaj kondiĉoj kaj ne putriĝas facile. Tamen, ĝi povas putriĝi kiam eksponite al altaj temperaturoj aŭ en la ĉeesto de certaj kataliziloj. NF3 havas altan mondvarmiĝopotencialon (GWP) kiam liberigita en la atmosferon.
Kie uzi ĉi tiun materialon?
Puriga agento en la elektronika industrio: NF3 estas vaste uzata kiel puriga agento por forigi restajn poluaĵojn, kiel ekzemple oksidojn, de la surfacoj de duonkonduktaĵoj, plasmaj ekranaj paneloj (PDPs) kaj aliaj elektronikaj komponantoj. Ĝi povas efike purigi ĉi tiujn surfacojn sen difekti ilin.
Akvaforta gaso en semikonduktaĵfabrikado: NF3 estas utiligita kiel akvaforta gaso en la produktadprocezo de semikonduktaĵoj. Ĝi estas precipe efika en akvaforto de silicia dioksido (SiO2) kaj silicionitruro (Si3N4), kiuj estas oftaj materialoj uzitaj en la fabrikado de integraj cirkvitoj.
Produktado de altpuraj fluoraj komponaĵoj: NF3 estas valora fonto de fluoro por la produktado de diversaj fluor-enhavantaj komponaĵoj. Ĝi estas utiligita kiel antaŭulo en la produktado de fluoropolimeroj, fluorokarbonoj, kaj specialaj kemiaĵoj.
Plasmogeneracio en platpanela ekranproduktado: NF3 estas uzita kune kun aliaj gasoj por krei plasmon en la produktado de platpanela ekranoj, kiel ekzemple likvidaj kristalaj ekranoj (LCDoj) kaj PDPoj. La plasmo estas esenca en la atestaĵo kaj akvafortprocezoj dum panelfabrikado.
Notu, ke specifaj aplikoj kaj regularoj por la uzo de ĉi tiu materialo/produkto povas varii laŭ lando, industrio kaj celo. Ĉiam sekvu sekurecajn gvidliniojn kaj konsultu spertulon antaŭ ol uzi ĉi tiun materialon/produkton en ajna apliko.
